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2025-03
星期 一
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无锡8英寸管式炉扩散炉 赛瑞达智能电子装备供应
退火工艺在半导体制造中用于消除硅片在加工过程中产生的内部应力,恢复晶体结构的完整性,同时掺杂原子,改善半导体材料的电学性能。管式炉为退火工艺提供了理想的环境。将经过前期加工的半导体硅片放入管式炉内,在惰性气体(如氮气、氩气等)保护
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2025-03
星期 一
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无锡一体化管式炉SIPOS工艺 赛瑞达智能电子装备供应
管式炉的气体供应系统是确保半导体工艺顺利进行的重要组成部分。该系统负责精确控制通入炉内的反应气体和保护气体的流量、压力与纯度。反应气体如硅烷、磷烷等,在半导体工艺中参与化学反应,其流量和纯度直接影响工艺效果。例如在硅外延生长中,硅
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2025-03
星期 一
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无锡国产管式炉LTO工艺 赛瑞达智能电子装备供应
在半导体制造中,成本控制是企业关注的重点,管式炉在这方面发挥着重要作用。一方面,管式炉的高效节能设计降低了能源消耗,减少了生产成本。通过优化加热元件和保温结构,提高能源利用率,降低单位产品的能耗成本。另一方面,精确的工艺控制提高了
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2025-03
星期 一
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无锡赛瑞达管式炉SiO2工艺 赛瑞达智能电子装备供应
管式炉炉管作为承载半导体材料和反应气体的关键部件,其材质和维护至关重要。常见的炉管材质有石英和陶瓷。石英炉管具有高纯度、低杂质含量的特点,能有效防止对半导体材料的污染,且热膨胀系数小,在高温下尺寸稳定性好。但其机械强度相对较低,容
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2025-03
星期 一
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无锡卧式炉PSG/BPSG工艺 赛瑞达智能电子装备供应
随着工业技术的不断进步,卧式炉正朝着高效、智能和环保的方向发展。未来,卧式炉将更加注重节能设计和智能化控制,通过物联网和人工智能技术实现设备的远程监控和优化运行。此外,卧式炉还将进一步加强对环保特性的关注,通过高效废气处理和低能耗